蓝宝石抛光Template / 无蜡垫

蓝宝石抛光Template / 无蜡垫

CMPPAD无蜡抛光垫,适用于单面抛光工艺中各种尺寸的晶片生产; 

多层树脂材料组成的复合结构; 

内层抛光微孔膜材料,加湿后产生的附着力把晶片吸贴在其上面; 

下面抗吸收、耐磨压的纤维层。一致的恒定弹性,保证晶片的平整; 

背面压敏胶,很好地适于抛光工艺生产中产生的各种应力; 

生产环境无沾圬,抛光垫洁净无污染

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